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　　項目簡介

　　主要對試樣微區的化學組成進行定性或定量分析;可以進行點、線掃描(得到成分分布信息)、面掃描(得到成分面分布圖像);測試元素Be~U。相對EDS，檢測限更低，有標測試，對于輕元素、微量元素測試精度更高。

　　常見項目

　　電子探針(EPMA)、電子探針EPMA-遠程視頻

　　結果展示

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　　常見問題

　　1. EPMA成分分析屬于能譜還是波譜?

　　EPMA中成分分析是波譜;

　　2. EPMA在形貌和成分分析上，與SEM有哪些區別?

　　電子探針(EPMA)具有顯微形貌觀察和成分分析的功能，與SEM+EDS相比，電子探針更側重成分分析。電子探針因出色的微區元素分析能力，特別是對于輕元素如C、N、O以及過渡金屬元素的分析，被廣泛應用于材料質量解析、失效分析及熱處理工藝等研究。

　　3. EPMA中線掃、mapping是如何進行定量的?

　　一般來說，需要選定幾個點進行點掃標定，根據標定結果，確定線掃、mapping區域的元素含量。